Литографическая установка из Зеленограда: Россия вошла в элитный клуб производителей

Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ) завершил разработку первой в России литографической установки с разрешением 350 нанометров.

Оборудование было создано в сотрудничестве с белорусской компанией "Планар", успешно прошло государственные испытания и теперь проходит комплексную проверку в Зеленограде.

По словам мэра Москвы Сергея Собянина, Россия вошла в узкий круг стран, способных самостоятельно производить литографическое оборудование, что является важным шагом на пути к технологической независимости.

 Российская установка рассчитана на обработку кремниевых пластин диаметром 200 мм и использует твердотельные лазеры с полем экспонирования 22x22 мм (484 мм²). Некоторые важные характеристики, такие как длина волны лазера или его мощность, разработчики пока не раскрывают.

Генеральный директор ЗНТЦ Анатолий Ковалев подтвердил, что проект был завершен в декабре и уже получил интерес со стороны потенциальных заказчиков.

Также было объявлено о планах по запуску серийного производства и разработке следующей версии литографической установки — с разрешением 130 нанометров. Её запуск планируется к 2026 году в рамках второго национального контракта, согласно hwupgrade.

Уточнения

Ла́зер  — устройство, преобразующее энергию накачки (световую, электрическую, тепловую, химическую и др.) в энергию когерентного, монохроматического, поляризованного и узконаправленного потока излучения.