Россия запускает серийный выпуск литографических степперов Progress STP-350

Россия переходит к серийному выпуску литографического оборудования. Первая машина Progress STP-350 должна поступить в распоряжение компании Mapper к декабрю 2026 года. Вторая система из этой серии запланирована для предприятия Industry Solutions (группа Element).

Progress STP-350 представляет собой проекционный степпер. Механизм работы устройства основан на переносе рисунка с фотошаблона на полупроводниковую подложку. Технический предел разрешения системы составляет 350 нм, а размер поля экспозиции — 22х22 мм. Аппарат поддерживает работу с пластинами диаметром до 200 мм.

Параметры установки определяют ее применимость. Разрешение в 350 нм исключает производство современных высокопроизводительных логических процессоров, но позволяет создавать компоненты для следующих сегментов:

• силовая электроника;
• автомобильные электронные модули;
• специализированные датчики;
• промышленная электроника.

Разработка велась Зеленоградским нанотехнологическим центром (ЗНТЦ) совместно с белорусской компанией Planar. Переход к серийному производству означает смену статуса технологии с лабораторного прототипа на промышленный продукт.

Следующим этапом станет запуск систем с разрешением 130 нм, который намечен на 2027 год. Снижение техпроцесса с 350 нм до 130 нм позволит увеличить плотность размещения элементов на кристалле, что расширит перечень производимых чипов за пределы простых силовых компонентов.